慕尼黑2022年5月24日 /美通社/ -- 半導機制造業(yè)供給溫度管領會決計劃的引導者——ERS electronic開拓了一種溫度校準擺設，該擺設不妨在晶圓本質針測地區(qū)舉行高透徹度（低至30mK）全機動丈量。暫時，被定名為ProbeSense?的該擺設正在請求本領專利。

由一個溫度傳感器構成，安置在晶圓探針臺的探針卡處的ProbeSense?，將在晶圓針測中，按照探針XYZ軸的挪動順序，在保護嘗試情況溝通的情景下，對晶圓外表舉行多點溫度丈量。ProbeSense?將與適配板一道托付，實行與行業(yè)合流探針臺兼容的同聲，滿意存戶的須要。其余，在ProbeSense?的整套裝置中還包括一個溫度丈量儀器，該儀器的透徹度仍舊預先與溫度傳感器同步兵學校準在了mk范疇之內。

為了進一步實行丈量進程無需人工操縱的全機動化，探針臺中還將承載ProbeSense?配系軟硬件，以在各別溫度下，對準卡盤各別場所運轉嘗試劇本。MPI是首批在其探針臺上供給這項功效的探針臺創(chuàng)造商之一。

“ProbeSense?很好的滿意了行業(yè)對功效性強、透徹度高且容易操縱的校準東西的需要，”ERS electronic公司首席本領官Klemens Reitinger說。 “咱們深信，仍舊被多家探針臺創(chuàng)造商沿用的該全機動ProbeSense?將變成精度校準和溫度平均性丈量范圍的準則改寫者?！?/p>

“勝利將ProbeSense?集成到SENTIO?探針臺的MPI公司看到了該擺設的鮮明上風：不只操縱上直覺便利，嘗試速率也較快。因為其全機動的個性，還實行了晚上和周末的連接校準，進而儉樸了消費功夫?！盨tojan Kanev, MPI公司總司理說， “ProbeSense?的推出，恰是為了更好的滿意存戶在本錢遏制、普及處事功效上面的需要。”

ERS ProbeSense?現已接收預定。

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